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Detalhes do produto:
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| Tensão: | 220V/380V | Velocidade do transportador: | 25 ~ 80m/min |
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| Potência do motor principal: | 1,5 kW | Largura efetiva de nivelamento: | 920mm |
| Material de revestimento: | Vários materiais | Tipo de lâmpada UV: | Lâmpada de Mercúrio |
| Erro de rebobinamento e dobramento: | ±0,1 mm | Tipo de secagem: | Secagem IR |
| Destacar: | Sistema de processamento a laser excimer industrial,Linha de produção de laser excimer flexível,Parâmetros da máquina de revestimento UV personalizáveis |
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Este sistema industrial de processamento de excimer laser foi projetado para microfabricação de alta precisão, recozimento de semicondutores e padronização de filmes finos. Suporta integração total em linhas de produção automatizadas com monitoramento em tempo real. O sistema apresenta uma fonte de excimer selada a gás com óptica de longa vida útil e controle de processo assistido por IA.
| Parâmetro | Faixa de valores (padrão) | Opção de personalização |
|---|---|---|
| Comprimento de onda | 193nm/248nm/308nm | Comutável em vários comprimentos de onda (personalizado) |
| Energia máxima de pulso | 0,5 - 1200mJ | Até 2.000 mJ (personalizado) |
| Frequência de pulso | 1 - 6.000Hz | Até 10 kHz (personalizado) |
| Potência média | 5 - 300 W | Dimensionamento personalizado disponível |
| Tamanho do feixe (saída) | 10×10mm | Viga retangular até 50×50 mm (personalizada) |
| Homogeneidade do feixe | <±3% (σ) | <±1% (óptica personalizada) |
| Integração da linha de produção | SMEMA/SEC/GEM | Protocolo PLC personalizado (personalizado) |
Nós oferecemospersonalização completade seleção de comprimento de onda, energia de pulso, tamanho do campo de varredura, mistura de gases, método de resfriamento (ar/água/chiller) e protocolo de comunicação da linha de produção. Braços de entrega de feixe personalizados e gabinetes classe 1 também estão disponíveis mediante solicitação.
Pessoa de Contato: Mr. Zhang guoxin
Telefone: +86 13926890692
Fax: 86-769-88120350