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Sistema de processamento industrial de Excimer Laser | Integração flexível da linha de produção e parâmetros totalmente personalizáveis
Detalhes do produto:
| Lugar de origem: | China |
| Marca: | OSMANUV |
| Certificação: | ISO9001 |
| Número do modelo: | Especificação |
Condições de Pagamento e Envio:
| Quantidade de ordem mínima: | 1 conjunto |
|---|---|
| Preço: | Negociável |
| Detalhes da embalagem: | Embalagem de madeira |
| Tempo de entrega: | 30-45 dias |
| Termos de pagamento: | T/T |
| Habilidade da fonte: | Negociação |
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Informação detalhada |
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| Tensão: | 220V/380V | Velocidade do transportador: | 25 ~ 80m/min |
|---|---|---|---|
| Potência do motor principal: | 1,5 kW | Largura efetiva de nivelamento: | 920mm |
| Material de revestimento: | Vários materiais | Tipo de lâmpada UV: | Lâmpada de Mercúrio |
| Erro de rebobinamento e dobramento: | ±0,1 mm | Tipo de secagem: | Secagem IR |
Descrição de produto
Sistema de processamento de laser excimer industrial
Integração flexível da linha de produção e parâmetros totalmente personalizáveis
Visão geral do produto
Este sistema industrial de processamento de excimer laser foi projetado para microfabricação de alta precisão, recozimento de semicondutores e padronização de filmes finos. Suporta integração total em linhas de produção automatizadas com monitoramento em tempo real. O sistema apresenta uma fonte de excimer selada a gás com óptica de longa vida útil e controle de processo assistido por IA.
Composição da Linha de Produção
- Unidade de fonte de laser Excimer
- Módulo de modelagem e homogeneização de feixe
- Estágio de digitalização XY de alta velocidade ou unidade de projeção de máscara
- Robô de manuseio de substrato em linha (largura de trilha personalizável)
- Sistema de gerenciamento de exaustão e gás
- PC de controle de processo com gerenciador de receitas
Parâmetros Técnicos
| Parâmetro | Faixa de valores (padrão) | Opção de personalização |
|---|---|---|
| Comprimento de onda | 193nm/248nm/308nm | Comutável em vários comprimentos de onda (personalizado) |
| Energia máxima de pulso | 0,5 - 1200mJ | Até 2.000 mJ (personalizado) |
| Frequência de pulso | 1 - 6.000Hz | Até 10 kHz (personalizado) |
| Potência média | 5 - 300 W | Dimensionamento personalizado disponível |
| Tamanho do feixe (saída) | 10×10mm | Viga retangular até 50×50 mm (personalizada) |
| Homogeneidade do feixe | <±3% (σ) | <±1% (óptica personalizada) |
| Integração da linha de produção | SMEMA/SEC/GEM | Protocolo PLC personalizado (personalizado) |
Aplicativos
- Recozimento de silício para monitores avançados (LTPS)
- MEMS e corte de wafer semicondutor
- Ativação de superfície de polímero
- Microestruturação de dispositivos médicos
- Perfuração PCB flexível
Opções de personalização
Nós oferecemospersonalização completade seleção de comprimento de onda, energia de pulso, tamanho do campo de varredura, mistura de gases, método de resfriamento (ar/água/chiller) e protocolo de comunicação da linha de produção. Braços de entrega de feixe personalizados e gabinetes classe 1 também estão disponíveis mediante solicitação.
Principais recursos
- > 2.000 horas de vida útil do gás (mistura de gás otimizada)
- Estabilização de energia integrada (feedback em tempo real)
- Diagnóstico remoto e manutenção preditiva
- Baixo custo de propriedade (LOO) com modo de economia de gás de bypass
- Design modular compacto para reconfiguração rápida da linha
Suporte e Serviços
- Suporte técnico 24 horas por dia, 7 dias por semana (telefone/remoto)
- Instalação no local e integração da linha de produção
- Treinamento personalizado para seus engenheiros
- Garantia estendida até 5 anos
- Programa de recarga de gás e renovação óptica
Embalagem e Envio
- Selado em recipiente com controle de umidade e amortecido contra choques
- Caixa óptica selada a vácuo
- Envio via aéreo ou marítimo com rastreamento em tempo real
- As caixas de exportação atendem ao padrão ISPM-15
Perguntas frequentes
Q1: Você pode personalizar o tamanho da cabeça do laser para uma linha de produção compacta?
Sim, a cabeça do laser e o caminho de entrega do feixe sãototalmente personalizávelpara caber em espaços de linha estreitos ou de formato estranho.
Q2: Qual é o prazo de entrega para um sistema personalizado?
Padrão: 8 a 10 semanas; personalizado: 12 a 14 semanas, incluindo validação do projeto.
P3: Vocês apoiam a integração com o MES existente?
Sim, nós fornecemosSECS/GEM personalizado, OPC-UA ou Modbusinterfaces.
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