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Qualidade Sistema de processamento industrial de Excimer Laser | Integração flexível da linha de produção e parâmetros totalmente personalizáveis fábrica
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Qualidade Sistema de processamento industrial de Excimer Laser | Integração flexível da linha de produção e parâmetros totalmente personalizáveis fábrica
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Sistema de processamento industrial de Excimer Laser | Integração flexível da linha de produção e parâmetros totalmente personalizáveis

Sistema de processamento industrial de Excimer Laser | Integração flexível da linha de produção e parâmetros totalmente personalizáveis
Sistema de processamento de laser excimer industrial Integração flexível da linha de produção e parâmetros totalmente personalizáveis Visão geral do produto Este sistema industrial de processamento de excimer laser foi projetado para microfabricação de alta precisão, recozimento de semicondutores e ...
Place of Origin:China
Brand Name:OSMANUV
Certification:ISO9001
Model Number:Especificação
Minimum Order Quantity:1 conjunto
Price:Negociável
Product Custom Attributes
Destacar

Sistema de processamento a laser excimer industrial

,

Linha de produção de laser excimer flexível

,

Parâmetros da máquina de revestimento UV personalizáveis

Tensão:
220V/380V
Velocidade do transportador:
25 ~ 80m/min
Potência do motor principal:
1,5 kW
Largura efetiva de nivelamento:
920mm
Material de revestimento:
Vários materiais
Tipo de lâmpada UV:
Lâmpada de Mercúrio
Erro de rebobinamento e dobramento:
±0,1 mm
Tipo de secagem:
Secagem IR
Product Description
Sistema de processamento de laser excimer industrial
Integração flexível da linha de produção e parâmetros totalmente personalizáveis
Visão geral do produto

Este sistema industrial de processamento de excimer laser foi projetado para microfabricação de alta precisão, recozimento de semicondutores e padronização de filmes finos. Suporta integração total em linhas de produção automatizadas com monitoramento em tempo real. O sistema apresenta uma fonte de excimer selada a gás com óptica de longa vida útil e controle de processo assistido por IA.

Composição da Linha de Produção
  • Unidade de fonte de laser Excimer
  • Módulo de modelagem e homogeneização de feixe
  • Estágio de digitalização XY de alta velocidade ou unidade de projeção de máscara
  • Robô de manuseio de substrato em linha (largura de trilha personalizável)
  • Sistema de gerenciamento de exaustão e gás
  • PC de controle de processo com gerenciador de receitas
Parâmetros Técnicos
Parâmetro Faixa de valores (padrão) Opção de personalização
Comprimento de onda 193nm/248nm/308nm Comutável em vários comprimentos de onda (personalizado)
Energia máxima de pulso 0,5 - 1200mJ Até 2.000 mJ (personalizado)
Frequência de pulso 1 - 6.000Hz Até 10 kHz (personalizado)
Potência média 5 - 300 W Dimensionamento personalizado disponível
Tamanho do feixe (saída) 10×10mm Viga retangular até 50×50 mm (personalizada)
Homogeneidade do feixe <±3% (σ) <±1% (óptica personalizada)
Integração da linha de produção SMEMA/SEC/GEM Protocolo PLC personalizado (personalizado)
Aplicativos
  • Recozimento de silício para monitores avançados (LTPS)
  • MEMS e corte de wafer semicondutor
  • Ativação de superfície de polímero
  • Microestruturação de dispositivos médicos
  • Perfuração PCB flexível
Opções de personalização

Nós oferecemospersonalização completade seleção de comprimento de onda, energia de pulso, tamanho do campo de varredura, mistura de gases, método de resfriamento (ar/água/chiller) e protocolo de comunicação da linha de produção. Braços de entrega de feixe personalizados e gabinetes classe 1 também estão disponíveis mediante solicitação.

Principais recursos
  • > 2.000 horas de vida útil do gás (mistura de gás otimizada)
  • Estabilização de energia integrada (feedback em tempo real)
  • Diagnóstico remoto e manutenção preditiva
  • Baixo custo de propriedade (LOO) com modo de economia de gás de bypass
  • Design modular compacto para reconfiguração rápida da linha
Suporte e Serviços
  • Suporte técnico 24 horas por dia, 7 dias por semana (telefone/remoto)
  • Instalação no local e integração da linha de produção
  • Treinamento personalizado para seus engenheiros
  • Garantia estendida até 5 anos
  • Programa de recarga de gás e renovação óptica
Embalagem e Envio
  • Selado em recipiente com controle de umidade e amortecido contra choques
  • Caixa óptica selada a vácuo
  • Envio via aéreo ou marítimo com rastreamento em tempo real
  • As caixas de exportação atendem ao padrão ISPM-15
Perguntas frequentes
Q1: Você pode personalizar o tamanho da cabeça do laser para uma linha de produção compacta?
Sim, a cabeça do laser e o caminho de entrega do feixe sãototalmente personalizávelpara caber em espaços de linha estreitos ou de formato estranho.
Q2: Qual é o prazo de entrega para um sistema personalizado?
Padrão: 8 a 10 semanas; personalizado: 12 a 14 semanas, incluindo validação do projeto.
P3: Vocês apoiam a integração com o MES existente?
Sim, nós fornecemosSECS/GEM personalizado, OPC-UA ou Modbusinterfaces.
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