CABEÇA DE SPIN INDUSTRIAL de estação única com ± 1% de uniformidade

CABEÇA DE SPIN INDUSTRIAL de estação única com ± 1% de uniformidade

Descrição do produto

Este revestimento spin de uma única estação foi concebido para deposição precisa e uniforme de fotoresistentes, polímeros, materiais sol-gel, nanopartículas,e outros líquidos funcionais em substratos que variam de pequenos fragmentos a wafers de 8 polegadasO sistema utiliza um motor DC sem escovas de alta estabilidade com perfis de velocidade e aceleração programáveis, garantindo resultados de revestimento de película fina repetíveis.células solares de perovskita, e aplicações de revestimento óptico.O sistema é totalmente personalizávelNo tamanho do tubo, no material da tigela, nas especificações do motor e nos módulos de aquecimento ou de cura UV opcionais.

Composição da linha de produção

1. Unidade principal de revestimento de espinhos (construção de uma única tigela)

2. Vacuum Chuck com Kit de Adaptador de Substrato

3. Controlador digital programável (HMI touchscreen)

4. Bomba de vácuo sem óleo (≥ 60 l/min)

5. Sistema de distribuição automático ou manual (siringa/bocal)

6. Instalação de portos de escape e drenagem

7. Entrada de depuração de nitrogénio para proteção de vedação do motor

8. Opcional: Módulo integrado de curagem por calor / UV

Parâmetros técnicos

Aplicação

• Semicondutores e MEMS- revestimento fotoresistente para litografia

• Perovskita e células solares orgânicasDeposito de película fina

• Revestimentos ópticos- camadas antirreflectantes e filtros

• Dispositivos biomédicos️ Bio-polímero

• Grafeno e materiais 2D¢ Revestimento de dispersão uniforme

• OLED e pontos quânticosDeposito de camada emissora

• Revestimento de vidro e cerâmica¢ Gel solar e camadas protetoras

Personalização

OferecemosPersonalização completaincluindo:

• Tamanho e forma da válvula de vácuo (redonda / quadrada / fragmento, de 3 mm a 450 mm)

• Material da tigela: PTFE, Teflon®, aço inoxidável ou alumínio para resistência química

• Modernização do motor: Servomotor com maior precisão e gama de velocidades alargada

• Módulos integrados: Hotplate (até 300°C), cura UV (365nm/395nm LED)

• Sistema automático de distribuição: bomba de seringa ou bocal de pulverização programáveis

• Sistema de escape: extracção activa de gases químicos com filtro HEPA

• Software: gerenciamento de receitas personalizadas, registro de dados e controle remoto

• Múltiplas tigelas para uma rápida mudança de material sem contaminação cruzada

Características

• ± 1% de uniformidade da espessura da película em todo o substrato

• Aceleração instantânea até 30 000 rpm/s para perfis de revestimento afiados

• PLC touchscreen com visualização de velocidade e tempo em tempo real

• Bloqueio do vácuo

• Projeto da tigela antigolas e resistente a salpicaduras

• A purga de nitrogênio prolonga a vida do motor e protege revestimentos sensíveis

• A pegada compacta do banco economiza espaço no laboratório

• Construção segura para materiais eletrónicos sensíveis

Apoio e Serviços

• Ensaio de revestimento de amostra gratuito com relatório detalhado de uniformidade

• Instalação no local e formação do operador (facultativo)

• Garantia de 24 meses para motor e controlador

• Apoio técnico remoto ao longo da vida através de videoconferência / e-mail

• Kit de peças sobressalentes incluído (selas a vácuo, O-rings, fusíveis)

• Fabricação a medida de parafusos para substratos não normalizados

Embalagem e transporte

• Embalagem:Espuma antiestática + saco fechado a vácuo + caixa de madeira compensada reforçada para exportação

• Transporte marítimo:FOB Xangai / Shenzhen / Guangzhou

• Tempo de execução:10 25 dias úteis (depende do nível de personalização)

• Métodos de transporte:Transporte aéreo (para pequenas unidades), transporte marítimo (para sistemas industriais), correio expresso (DHL/FedEx)

Perguntas frequentes

P1: Pode personalizar o chuck para um substrato quadrado não-padrão (100 mm x 100 mm)?
A: Sim.Nós personalizamos completamenteQualquer forma e tamanho do parafuso, incluindo fragmentos quadrados, retangulares e irregulares até 450 mm.

Q2: Qual é a espessura mínima e máxima do revestimento?
R: Normalmente de 0,1 μm a 200 μm, dependendo da viscosidade do material e da velocidade de rotação.

P3: Este revestimento de rotação funciona com materiais de alta viscosidade como fotoresistentes grossos?
R: Sim. A opção de servomotor fornece maior torque para materiais grossos. Também podemos personalizar o bico de distribuição e o atraso de pré-spin.