Revestidor automático de espinha de 12 estações de alta precisão para deposição de filmes de semicondutores e perovskita personalizáveis
Revestidor automático de giro de 12 estações
,Máquina de deposição de películas de semicondutores
,Equipamento de revestimento por rotação de perovskita
Este revestidor giratório de 12 estações foi projetado paradeposição de filmes finos de alto rendimento, suportando wafers, vidro e substratos flexíveis. Cada estação oferece configurações independentes de velocidade, aceleração e tempo de revestimento com controle de circuito fechado alcançando precisão de ±1 rpm.O número de estações, método de distribuição, tamanho da câmara e sistema de exaustão são personalizáveis, tornando-o ideal tanto para P&D quanto para produção piloto.
| Parâmetro | Valor/Intervalo | Opção de personalização |
|---|---|---|
| Número de estações | 12 | Personalizável: 4/8/12/16 estações |
| Faixa de velocidade | 100 - 10.000 rpm | Extensível até 12.000 rpm |
| Faixa de aceleração | 50 - 10.000 rpm/s | Personalizável |
| Precisão de velocidade | ±1 rpm | - |
| Tamanho máximo do substrato | 150 mm de diâmetro | Personalizável até 200 mm |
| Material da câmara | PP / PTFE / aço inoxidável 316L | Materiais de contato personalizáveis |
| Controle ambiental | Exaustão e purga disponíveis | Módulo de purga de N₂ personalizável |
| Armazenamento de programas | Mais de 1000 receitas | - |
| Fonte de energia | CA 220V/50Hz | Personalizável para 110V / 60Hz |
- Filmes de células solares de perovskita
- Revestimento fotorresistente (litografia semicondutora)
- Filmes finos sol-gel
- Camadas emissoras de OLED e pontos quânticos
- Revestimentos de biossensores
- Personalizável para substratos não planos ou flexíveis
- Personalização em nível de sistema e em nível de processo
- Número de estações, layout, caminho de distribuição
- Tamanho e material da câmara (resistente a ácidos, resistente a solventes)
- Sistema automático de limpeza e recuperação de solventes residuais
- Módulos de cura pós-revestimento de aquecimento/UV/IR
- Integração de interface de dados MES/ERP de fábrica
- 12 estações acionadas de forma independentecom motores e controle separados
- Resposta de alta aceleração- atinge a velocidade definida em <0,5 segundos
- Programação de distribuição multiponto- suporta distribuição dinâmica/estática
- Prevenção de contaminação cruzada- canais de exaustão independentes por estação
- Recuperação de receita com um cliquecom inicialização opcional de leitura de código de barras
- Intertravamento de segurança personalizável e lógica de parada de emergência
- Suporte remoto global (TeamViewer/VPN)
- Instalação e treinamento no local (opcional)
- Consultoria de processos - modelagem de viscosidade/velocidade/espessura
- Estoque local de peças de reposição -kit de peças de reposição personalizável disponível
- Garantia de 18 meses (excluindo danos intencionais)
- Caixa de madeira à prova de choque (em conformidade com o padrão ISTA)
- Indicador de dessecante e umidade incluído no interior
- Métodos de envio: marítimo/aéreo/terrestre -rotulagem de exportação personalizável e certificado de fumigação disponível
- Prazo de entrega: 4 semanas para modelos padrão, 6-8 semanas para modelos personalizados