Revestimento rotativo de espinha de 24 posições com tamanhos de substrato personalizáveis e perfis de espinha programáveis para deposição de filme fino de alto rendimento
Coater giratório de 24 posições
,revestidor giratório programável para deposição de filme fino
,revestidor giratório de tamanho de substrato personalizável
Este revestidor giratório de 24 estações foi projetado para deposição de filmes finos de alto rendimento de fotorresistentes, polímeros, nanopartículas e materiais sol-gel. Cada estação opera de forma independente ou sincronizada. O sistema suporta perfis de rotação personalizáveis (aceleração, duração, velocidade) para cada estação, tornando-o ideal para ambientes de pesquisa e desenvolvimento e produção.
| Parâmetro | Valor/Intervalo | Opção de personalização |
|---|---|---|
| Número de estações | 24 | ✔ Personalizável (16/24/32 estações) |
| Tamanho do substrato | Wafer de até 12" ou painel de 300×300 mm | ✔ Tamanho do mandril personalizável |
| Faixa de velocidade de rotação | 100 - 12.000 rpm | ✔ Programável por estação |
| Precisão de velocidade | ±1 rpm | - |
| Faixa de aceleração | 100 - 10.000 rpm/s | ✔ Ajustável por receita |
| Intervalo de tempo de rotação | 1 - 999 seg/passo | ✔ Etapas personalizáveis |
| Distribuir volume | 0,1 - 20 mL por bico | ✔ Tipo de bico personalizável |
| Tipo de motor | Servo DC sem escova | - |
| Uniformidade de revestimento | ±3% (em 24 estações) | ✔ Atualizável para ±1% |
| Fluxo de exaustão | 150 - 500 m³/h | ✔ Interface de exaustão personalizável |
| Fonte de energia | 220 V / 50-60 Hz / 3,5 kW | ✔ Tensão personalizável |
| Dimensões (C×L×A) | 1800×1200×900 milímetros | ✔ Pegada personalizável |
| Peso | 520kg | - |
- Revestimento de wafer semicondutor (fotorresiste)
- Fabricação de células solares OLED e perovskita
- Preparação de filme de bio-chip e polímero
- Revestimento anti-reflexo para óptica
- Deposição de nanomateriais (grafeno, pontos quânticos)
- Triagem de múltiplas condições de P&D (24 parâmetros diferentes simultaneamente)
Oferecemos personalização completa:
- Contagem de estações:8/12/16/24/32 estações
- Forma e tamanho do substrato:wafers redondos, painéis quadrados, substratos irregulares
- Sistema de distribuição:agulha única, bico múltiplo, spray ou jato de tinta
- Controle ambiental:umidade, temperatura, filtragem de partículas
- Nível de automação:carregamento manual, semiautomático, integração completa em linha
- Programas:estrutura de receita personalizada, leitura de código de barras, exportação de dados para MES
- Instalação e treinamento no local
- Garantia padrão de 18 meses (extensível)
- Opção de depuração remota e suporte IoT
- Plano anual de calibração e manutenção preventiva
- Fornecimento de peças de reposição por ≥10 anos
- Suporte ao desenvolvimento de software personalizado
- Embalagem:Caixa de exportação antiestática selada a vácuo + madeira compensada (à prova de choque, à prova de umidade)
- Método de envio:FOB/CIF por via marítima, aérea (expresso opcional para unidades de bancada)
- Tempo de espera:30-45 dias úteis após confirmação do pedido (a personalização adiciona 15 dias)
- Documentos incluídos:Manual do usuário, certificado de calibração, declaração CE