Sistema de revestimento industrial de dupla cabeça de rotação para produção de alta produtividade

Isto...revestimento de rotação de duas estações personalizávelÉ projetado para deposição de filme fino de alto rendimento em substratos como wafers de silício, vidro e filmes de polímero.Investigação,Sala limpa, eprodução industrialConfigurações.totalmente personalizávelNo tamanho do chuck, na faixa de velocidade de rotação, no número de passos do programa e no método de distribuição.Duas estações independentes permitem a operação simultânea ou alternada - uma estação pode cobrir enquanto a outra está sendo carregada/descarregadaIdeal para revestimento fotoresistente, deposição de sol-gel e aplicações de camada de barreira nas indústrias de semicondutores, MEMS, óptica e electrónica impressa.

• Semicondutores: Revestimento fotoresistente em wafers de silício, dispositivos MEMS
• Optoeletrónica: Deposição de película fina para LEDs, células solares, ecrãs planos
• Ciência dos materiais: Revestimentos de sol-gel, polímero e nanocompositos
• Biomédica: Fabricação de biossensores e dispositivos microfluídicos
• Eletrónica impressa: Deposição de tinta condutora em substratos flexíveis
• Embalagem: Revestimento de barreira em recipientes de alimentos e produtos de papel

Este revestimento de rotação de duas estações éMuito personalizávelPara satisfazer os seus requisitos específicos de aplicação:

• Projeto e tamanho do chuque: Máquinas de descarga a vácuo para substratos de 10 mm a 450 mm, sob medida
• Intervalo de velocidade de rotação: Extensível até 15.000 rpm para aplicações de filme ultrafino
• Número de estações: Expansível para 3 ou 4 estações para processamento em vários lotes
• Sistema de distribuição: Manual, semi-automático ou totalmente automatizado com bombas servo-controladas
• Controle ambiental: Sala limpa (classe 10-100.000), depuração de gases inertes, controlo de umidade
• Integração térmica: Placa quente incorporada (até 300°C) ou módulo de cura UV
• Automação: Carregamento/descarregamento robótico, integração de transportadores, processamento por lotes
• Materiais de armazenamento: PTFE resistente a solventes, aço inoxidável ou projeto à prova de explosão

• Processamento paralelo: Duas estações operam de forma independente - cobrir e carregar simultaneamente, duplicando a capacidade em relação a unidades de uma única estação
• Controle independente da receita: Cada estação executa diferentes materiais ou parâmetros de rotação simultaneamente
• Alta precisão: Motor DC ou servomotor sem escovas com estabilidade de ±1 rpm para uniformidade excepcional
• Câmara resistente a produtos químicos: Construção em aço inoxidável com revestimento resistente a solventes para compatibilidade com salas limpas
• Bloqueio de segurança: Bloqueio de tampa e parada de emergência em cada estação
• Traçabilidade dos dados: armazenamento de receitas, monitorização em tempo real, exportação USB/Ethernet (opcional)
• Baixa manutenção: Projeto sem vibrações com rolamentos selados

• Consultoria gratuita de processos e ensaios de materiais (envie-nos os seus substratos)
• Instalação, calibração e formação dos operadores no local
• Garantia de 12 meses para todos os componentes, suporte técnico ao longo da vida
• Disponibilidade de peças sobressalentes (choques, bombas, motores) em 48 horas
• Resolução de problemas remoto através de videoconferência ou monitoramento da IoT (personalizável)

• Embalagem: espuma antiestática + caixa de compensado reforçado (com dessecante para componentes sensíveis à humidade)
• Navio.Tempo de entrega: 15-30 dias após confirmação da personalização (mais tempo para chucks personalizados ou integração de automação)

R: Uma máquina de duas estações partilha um sistema de controlo e uma pegada, permitindo ao mesmo tempo a um operador carregar/descarregar uma estação enquanto a outra está a revestir - eliminando o tempo de inatividade.Isto resulta num menor investimento total, menor espaço de laboratório, e maior rendimento.

R: Sim. Cada estação tem controles programáveis independentes, permitindo-lhe revestir diferentes materiais ou tamanhos de substrato ao mesmo tempo sem contaminação cruzada.

A: Chucks sãopersonalizávelA partir das dimensões e do material do substrato, oferecemos tubos padrão para wafers redondas (2"-12") eMáquinas para a produção de partículaspara substratos quadrados, retangulares ou irregulares.